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コードシェアセッション » 【CS.5】6.1 強誘電体薄膜、13.3 絶縁膜技術、13.5 デバイス／配線／集積化技術のコードシェアセッション

[10p-W631-1~12] CS.5 6.1 強誘電体薄膜、13.3 絶縁膜技術、13.5 デバイス／配線／集積化技術のコードシェアセッション

2019年3月10日(日) 13:45 〜 17:00 W631 (W631)

小林正治(東大)、清水荘雄(東工大)、藤井章輔(東芝メモリ)

16:00 〜 16:15

△ [10p-W631-9] 反強誘電体ZrO₂を有するMIS構造のユニポーラスイッチング特性

〇(M2)多川友作¹、更屋拓哉¹、平本俊郎¹、小林正治¹ (1.東大生研)

キーワード：反強誘電体