[10p-W933-1~9] 新デバイス・材料開発のためのナノスケール2次元/3次元分析(II)

[10p-W933-7] 光電子ホログラフィーによる半導体中の不純物の3Ｄ原子イメージング

〇筒井 一生¹、松下 智裕²、名取 鼓太郞¹、小川 達博¹、室 隆桂之²、森川 良忠³、星井 拓也¹、角嶋 邦之¹、若林 整¹、林 好一⁴、松井 文彦⁵、木下 豊彦² (1.東工大、2.高輝度光科学研究センター、3.阪大、4.名工大、5.分子研)

キーワード：光電子ホログラフィー、不純物ドーピング、イメージング