[11a-M111-1~10] 12.1 Fabrications and Structure Controls

[11a-M111-10] Development of Linear-Type High-Velocity Molecular-Beam Cell for Large-Area High-Speed Thin-Film Deposition

〇Kota Ogino¹, Ryosuke Matsubara², Min-Cherl Jung¹, Hirotaka Kojima¹, Hiroaki Benten¹, Masakazu Nakamura¹ (1.NAIST, 2.Shizuoka Univ.)

Keywords:Higih-Velocity Molecular-Beam Deposition, Roll to Roll

我々は加熱されたキャピラリを有する準閉鎖型のルツボと伝熱ブロックによる加熱機構を組み合わせ、高密度分子フラックスを安定かつ迅速に制御できる高速分子線セルを開発し、有機トランジスタ用活性層の製膜プロセス時間の大幅な短縮を実現してきた。本研究では、実用化に向けて大面積基板上あるいは Roll to Rollでの製膜に対応させるため、一つのセルに多数のキャピラリを線形配置した線形高速分子線セルの開発を行ったので報告する。