[11a-M113-1~11] 6.2 Carbon-based thin films

[11a-M113-5] One-port diamond SAW resonator on a single-crystal diamond made of ¹²C

〇Satoshi Fujii^1,2, Tokuyuki Teraji³, Takehiro Shimaoka³, Kimiyoshi Ichikawa³, Satoshi Koizumi³ (1.NIT, Okinawa Col., 2.Tokyo Tech., 3.NIMS)

Keywords:Diamond, Mass number 12 carbon, Surface Acoustic Wave

第5世代移動体通信システムでは、キャリア周波数はミリ波帯や５～６GHz帯の電波領域までの利用検討が始まっている。NIMS・寺地らによりパワーデバイス用として提案された炭素同位体（¹²C）を用いたダイヤモンドをSAWデバイスへ展開することを試みた。Ib基板上にホモエピタキシャル成長した炭素同位体（¹²C）ダイヤモンド薄膜（4μｍ）にAlN薄膜を形成し、1ポート共振子を作製・評価を行った。その評価結果、共振周波数6.77GHzであることから、位相速度は13533m/sとなり、AlN/ダイヤモンド構造のSAW位相速度の2次モードより30％アップとなり、炭素同位体（¹²C）濃縮ダイヤモンドによりSAWの高周波化に成功した。