[11a-PA2-1~17] 3.2 材料・機器光学

[11a-PA2-12] ガラス基板での焦点制御型レンズの作製とその光学特性

〇松尾 和樹¹、元垣内 敦司^1,2 (1.三重大院工、2.三重大伊賀サテライト)

キーワード：回折レンズ

レーザーは指向性が非常に高いという特徴を持っているため、様々な分野に応用されている。レーザー加工技術は、加工作業と比較して工具の摩耗による加工寸法精度の低下の問題を解決することができる。
そこで当研究室が作製している焦点制御型レンズが応用できるのではないかと考えた。しかし従来の電子線レジストによるレンズではレーザーの出力に耐えられないと考え今回ガラスをエッチングすることにより作製し、測定を行った。