[11a-PA2-1~17] 3.2 材料・機器光学

[11a-PA2-7] 段差付テーパー形状を有する反射防止表面：最適化計算と大面積加工

〇大 紘太郎¹、沈 凌峰¹、篠塚 啓¹ (1.王子ホールディングス)

キーワード：反射防止、微細加工

光学シミュレーションで段差を付けたテーパー形状の放物面突起の反射率を計算すると、段差なしの放物面突起より改善することが確認された(可視光領域の凹型の平均反射率：段差付き0.040%)。コロイダルリソグラフィーを利用して、段差付きテーパー形状の放物面突起を作製した。得られたSi原盤からナノインプリントによりCOPレプリカを作製し反射率スペクトルを実測すると、平均反射率0.077%であった。