[11a-PA5-1~12] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[11a-PA5-5] アクティブスクリーンプラズマによる窒化とその評価Ⅲ

〇(PC)市村 進¹、水流 一平²、大久保 大地²、松尾 英明²、後藤 峰男² (1.名古屋産業振興公社、2.中日本炉工業 株式会社)

キーワード：プラズマ、窒化、放射光

我々は、鉄鋼の硬度を向上させることを目的とし、プラズマによる窒化の研究を行ってきた。プラズマ窒化条件に より、鉄鋼表面の硬度を、自在に制御できることが判明した。