[11a-PA5-1~12] 8.2 Plasma deposition of thin film, plasma etching and surface treatment

[11a-PA5-9] Preparation of Au-ZnO nanocomposite film using open-air microplasma jet and its photocatalytic property

〇Yoshiki Shimizu^1,2, Yoshie Ishikawa¹, Kazuto Hatakeyama^1,2, Yukiya Hakuta^2,1 (1.NMRI, AIST, 2.Operando OIL, AIST)

Keywords:atmospheric pressure plasma, gold nanoparticle, nanocomposite film

大気開放型プラズマを利用したナノ粒子気相合成技術の強みであるナノ粒子孤立分散堆積技術が活かせるデバイス製造プロセスへの応用に向けて、ナノ粒子の分散が鍵となるナノコンポジット薄膜作製プロセスへの応用の可能性を検証した。本講演では、金ナノ粒子－酸化亜鉛複合薄膜（Au-ZnOナノコンポジット薄膜）作製の試みと、その可視光応答型光触媒としての特性評価について報告する。