[11a-PA5-1~12] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[11a-PA5-9] 大気開放型プラズマジェットを利用したAu-ZnOナノコンポジット薄膜の作製とその光触媒特性

〇清水 禎樹^1,2、石川 善恵¹、畠山 一翔^1,2、伯田 幸也^2,1 (1.産総研ナノ材料RI、2.産総研東大OIL)

キーワード：大気圧プラズマ、金ナノ粒子、ナノコンポジット薄膜

大気開放型プラズマを利用したナノ粒子気相合成技術の強みであるナノ粒子孤立分散堆積技術が活かせるデバイス製造プロセスへの応用に向けて、ナノ粒子の分散が鍵となるナノコンポジット薄膜作製プロセスへの応用の可能性を検証した。本講演では、金ナノ粒子－酸化亜鉛複合薄膜（Au-ZnOナノコンポジット薄膜）作製の試みと、その可視光応答型光触媒としての特性評価について報告する。