[11a-PB2-1~10] 13.3 絶縁膜技術

[11a-PB2-6] トンネル電流解析によるMONOS型不揮発性メモリの捕獲正孔密度の決定

〇美濃 暢¹、小林 清輝¹ (1.東海大院工)

キーワード：MONOS型メモリ、正孔捕獲特性、捕獲正孔密度