[11a-PB2-1~10] 13.3 絶縁膜技術

[11a-PB2-7] 準安定原子誘起電子分光法によるO/Cs/SiC(3×3)表面の電子状態測定

〇(B)田中 晶貴¹、飯田 涼¹、柏谷 拓実¹、渡邉 拓斗¹、平山 楓²、田中 悟²、内藤 正路³、碇 智徳¹ (1.宇部高専、2.九大院工、3.九工大院工)

キーワード：炭化ケイ素、準安定原子誘起電子分光法