[11a-PB2-1~10] 13.3 絶縁膜技術

[11a-PB2-9] HfO₂-ZrO₂系薄膜における反強誘電性の発現過程について

〇柴山 茂久¹、坂下 満男¹、中塚 理^1,2、財満 鎭明³ (1.名大院工、2.名大未来研、3.名大未来社会創造機構)

キーワード：HfO2、ZrO2、反強誘電性