[11a-PB3-1~11] 13.5 デバイス／配線／集積化技術

[11a-PB3-4] P型表水平配向Siナノワイヤのゼーベック係数評価：不純物濃度依存性と水素アニールの効果

〇(B)田邉 咲華¹、松川 貴²、松木 武雄²、渡邉 孝信¹、姫田 悠矢¹、武澤 宏樹¹、目﨑 航平¹、平尾 修平¹ (1.早大理工、2.産総研)

キーワード：熱電発電デバイス