[11a-PB3-1~11] 13.5 Semiconductor devices/ Interconnect/ Integration technologies

[11a-PB3-9] Integration of Perovskite Solar Cells and Single Crystalline SiliconCMOS Logic Circuits on a Glass Substrate

〇(M2)Satoshi Nagasawa¹, Hiroaki Hanafusa¹, Seiichiro Higashi¹ (1.Graduate School of Advanced Sciences of Matter, Hiroshima Univ)

Keywords:perovskite solar cells, flexible electronics, heterogeneous integration

近年、フレキシブルエレクトロニクスが注目を集めているが、バッテリーの大容量化が困難であることから外部電源を必要とし軽量・携帯性の良さ等の利点を損なっている。そこで低温成膜可能でフレキシブル基板上への形成が報告されているペロブスカイト太陽電池に着目し、我々が報告してきたフレキシブル基板上に単結晶シリコンデバイスを形成する技術を用いて作製したCMOS論理回路と集積化することでバッテリーレス動作を試みた。