[11a-PB3-1~11] 13.5 デバイス／配線／集積化技術

[11a-PB3-9] ペロブスカイト太陽電池と単結晶シリコンCMOS論理回路のガラス基板上における集積化

〇(M2)長澤 聡¹、花房 宏明¹、東 清一郎¹ (1.広大院先端研)

キーワード：ペロブスカイト太陽電池、フレキシブルエレクトロニクス、異種材料デバイス集積化

近年、フレキシブルエレクトロニクスが注目を集めているが、バッテリーの大容量化が困難であることから外部電源を必要とし軽量・携帯性の良さ等の利点を損なっている。そこで低温成膜可能でフレキシブル基板上への形成が報告されているペロブスカイト太陽電池に着目し、我々が報告してきたフレキシブル基板上に単結晶シリコンデバイスを形成する技術を用いて作製したCMOS論理回路と集積化することでバッテリーレス動作を試みた。