[11a-PB4-1~18] 15.4 III-V族窒化物結晶

[11a-PB4-11] 半極性InGaN/GaN量子井戸の表面プラズモン共鳴による発光増強

〇亀谷 純¹、中村 俊樹¹、村尾 文弥¹、松山 哲也¹、和田 健司¹、岡田 成仁²、只友 一行²、岡本 晃一¹ (1.阪府大院工、2.山口大院創成)

キーワード：表面プラズモン、極性，半極性

極性／半極性InGaN/GaN試料にAg/Alを50 nm蒸着し，表面プラズモン(SP)共鳴によって増強された発光スペクトルを測定した．青色発光試料では、SP共鳴によってすべての場合でスペクトルがブルーシフトし、極性や金属種による波長シフトの違いは見られなかった．緑色発光試料ではAgとAlによるピーク波長のシフトが逆になり，極性面と半極性面においても逆になる傾向があることがわかった.