2019年第66回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(ポスター講演)

15 結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶

[11a-PB4-1~18] 15.4 III-V族窒化物結晶

2019年3月11日(月) 09:30 〜 11:30 PB4 (武道場)

09:30 〜 11:30

[11a-PB4-5] 熱劣化したエピタキシャルグラフェン上極薄AlN中間層の修復

佐藤 祐大1、寺井 汰至1、鎌田 裕太1、竹内 智哉1、橋本 明弘1 (1.福井大院工)

キーワード:AlN中間層、グラフェン