[11a-S011-1~9] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[11a-S011-6] Sn: β型酸化ガリウムのドーパント局所構造

〇三木 一司¹、八方 直久²、木村 耕治³、佐々木 公平⁴、唐 佳藝¹、縄田 皓太郎¹、北藤 滉¹、北村 真也¹、尾崎 ひかる³、久常 健太郎²、山口 亮太²、田尻 寛男⁵、山腰 茂伸⁶、林 好一³、倉又 朗人⁴ (1.兵庫県立大学工、2.広島市立大学、3.名工大、4.ノベルクリスタルテクノロジー、5.JASRI、6.タムラ製作所)

キーワード：酸化物ワイドギャップ半導体、ドーパント、局所構造

Sn: β型酸化ガリウムのSnドーパントの蛍光X線ホログラムの計測に成功した。Snドーパントが原子置換しているGaサイトについて報告する。。