[11a-S321-1~5] 11.2 薄膜，厚膜，テープ作製プロセスおよび結晶成長

[11a-S321-2] SmBCO超伝導薄膜への新規機能性付与に向けた自立薄膜作製の検討

〇一野 祐亮¹、伊東 佑馬¹、三浦 正志²、土屋 雄司¹、吉田 隆¹ (1.名大工、2.成蹊大)

キーワード：超伝導薄膜、自立薄膜

BaTiO₃(BTO)などペロブスカイト酸化物強誘電体に新たな付加価値として柔軟性や折りたたみ可能な機能を持たせる研究が行われている。そこで、可溶性の基板・緩衝層を用いてBTO薄膜を成膜した後、試料を水などに浸漬することで基板から薄膜を剥離する検討が行われている。
この手法は、酸化物超伝導体や熱電変換材料などの酸化物エネルギー材料にも応用可能であり、新たな機能性の付与が期待できる。本研究では、酸化物エネルギー材料への新規機能性付与の基礎検討として、水溶性のSr₃Al₂O₆ (SAO)を犠牲層として用いて単結晶基板上にSmBa₂Cu₃O_y (SmBCO)超伝導薄膜を成膜しSmBCO層の剥離を試みた。