[11a-W331-1~9] 3.15 シリコンフォトニクス

[11a-W331-1] サブ波長構造を用いたシリコン偏光回折格子の作製

〇酒井 滋彬¹、津田 裕之¹ (1.慶應大工)

キーワード：偏光回折格子

高効率でかつ小型に方向制御ができるとして偏光回折格子が注目されている。理論的には0次光と±1次光にのみに100%回折する。偏光回折格子は液晶を用いた先行研究が多く発表されているが、シリコンを用いることで耐久性の向上やより小型にすることができる。本研究ではシリコンを材料とし、サブ波長構造を用いて構造性複屈折を生じさせることで偏光回折格子を作製した。