[11a-W331-1~9] 3.15 シリコンフォトニクス

[11a-W331-3] Pt-WO3/Siマイクロリング共振器水素ガスセンサの応答速度および感度改善の検討

〇松浦 壮佑¹、山作 直貴¹、國分 泰雄²、西島 喜明¹、岡崎 慎司¹、荒川 太郎¹ (1.横浜国立大学大学院、2.中部大学)

キーワード：水素ガスセンサ、シリコンマイクロリング共振器