[11a-W331-1~9] 3.15 シリコンフォトニクス

△ [11a-W331-5] Si曲げ導波路方向性結合器を用いたループミラーの作製と評価

〇御手洗 拓矢¹、エイッサ モータズ¹、立花 文人¹、宮嵜 隆之¹、雨宮 智宏^1,2、西山 伸彦^1,2、荒井 滋久^1,2 (1.東工大工、2.東工大未来研)

キーワード：シリコン導波路、ループミラー、方向性結合器

III-V/Siハイブリッドレーザの広帯域な波長可変動作に向け、波長依存性の少ないミラーの導入が不可欠である。これまでに曲げ導波路を用いた方向性結合器を導入したループミラー構造において、波長依存性を低減できる可能性を報告してきた。今回は素子の作製と評価を行った。理論との誤差を考慮した設計によって所望の反射率を得られることが明らかとなった。