[11a-W351-1~11] 6.1 強誘電体薄膜

[11a-W351-11] [講演奨励賞受賞記念講演] スパッタBiFeO₃薄膜を用いた圧電MEMS振動発電素子の高効率・高出力化

〇荒牧 正明¹、吉村 武¹、村上 修一²、佐藤 和郎²、藤村 紀文¹ (1.大阪府大工、2.大阪技術研)

キーワード：MEMS、非鉛、スパッタリング

非鉛強誘電体であるBiFeO₃薄膜を用いて、高い発電性能を有する圧電MEMS振動発電素子の実現に取り組んだ。作製したMEMS素子の共振周波数、電気機械結合係数、機械的Q値はそれぞれ151 Hz、0.1%、850であった。印加加速度0.3 Gにおいて最大発電量は2.4 μWに到達した。非鉛強誘電体を用いてPZT薄膜を搭載した圧電MEMS振動発電素子と同程度の発電性能を得ることができた。