[11a-W351-1~11] 6.1 強誘電体薄膜

△ [11a-W351-3] 強誘電体(Hf,Ce)O₂薄膜の作製とその結晶構造評価

〇白石 貴久¹、Choi Sujin¹、清水 荘雄²、木口 賢紀¹、舟窪 浩²、今野 豊彦¹ (1.東北大、2.東工大)

キーワード：ハフニア、セリア、直方晶相