[11a-W641-1~10] 6.3 酸化物エレクトロニクス

△ [11a-W641-7] V₂O₅正極を用いた全固体リチウムイオン薄膜電池の作製

〇金澤 翔吾¹、馬場 友章¹、神野 伊策¹ (1.神戸大工)

キーワード：リチウムイオン電池、V2O5、薄膜電池

全固体リチウムイオン薄膜電池は，エネルギー密度が高く小型化が可能であり，また他の薄膜素子と同様MEMSや半導体プロセスと整合性を有していることから，センサデバイスの駆動源やエナジーハーベスタの電力貯蔵への応用が期待されている．本研究では，室温下での成膜と大気中での充放電動作が可能な電極および電解質材料として，V₂O₅，LiPON，Siのアモルファス薄膜から構成される全固体リチウムイオン薄膜電池を作製し，その充放電特性を評価した．