[11a-W933-1~11] 6.6 プローブ顕微鏡

[11a-W933-1] 走査型熱振動顕微鏡法における測定時間短縮

〇戸野 博史¹、小林 圭¹、木村 邦子¹、山田 啓文¹ (1.京大工)

キーワード：表面下構造、原子間力顕微鏡

走査型熱振動顕微鏡法（STNM）は、接触状態にあるカンチレバーの熱雑音スペクトルから表面下構造を可視化する手法であり、励振機構のスプリアスの影響がないため、表面下構造可視化メカニズムの解明に有効な手段である。しかしながら、測定時間が長大であり、熱ドリフトの影響やカンチレバー接触圧の経時変化などの問題がある。本研究では、測定パラメータの最適化によりSTNMの測定時間短縮を試みたので、その結果について報告する。