[11a-W933-1~11] 6.6 プローブ顕微鏡

[11a-W933-8] 炎エッチングによるnc-AFM/STM用金属探針の作製と評価

〇(B)笈田 浩平¹、丸山 天悟¹、富取 正彦²、新井 豊子¹ (1.金沢大、2.北陸先端大)

キーワード：エッチング、nc-AFM、力センサー