[11a-W934-1~11] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

△ [11a-W934-1] 積層メタル技術によるピラー型容量検出電極の検討

〇(M1)渥美 賢¹、乙部 翔太¹、古賀 達也¹、市川 崇志¹、山根 大輔¹、飯田 慎一²、伊藤 浩之¹、石原 昇¹、曽根 正人¹、町田 克之¹、益 一哉¹ (1.東工大、2.NTTアドバンステクノロジ株式会社)

キーワード：MEMS加速度センサ