[11p-M116-1~15] 1.5 計測技術・計測標準

[11p-M116-15] テラヘルツ波３次元イメージング技術を用いた壁面内部欠陥診断に関する研究

〇椴山 誉^1,2,3、佐々木 芳彰²、吉峯 功²、永野 繁憲¹、湯浅 哲也³、大谷 知行² (1.トプコン、2.理研　光量子工学研究センター、3.山形大)

キーワード：3次元イメージング、非破壊検査

インフラの欠陥診断への応用を目的とした、テラヘルツ波光源を用いた二種類（波長掃引型光干渉断層計：SS-OCT、位相シフト干渉計）の3次元計測システムを構築し、その撮像特性を評価した。結果、深さ分解能は、それぞれ68 mm（ガウス窓使用）と約3 μmであった。また、検査応用への有効性を確認するために、SS-OCT測定システムを用いて、タイル裏側の空隙の可視化を行った。