[11p-M116-1~15] 1.5 計測技術・計測標準

[11p-M116-2] 波長可変半導体レーザー分光法を用いた露点計の開発

本田 真一¹、板橋 健一¹、橋口 幸治²、〇阿部 恒² (1.神栄テクノロジー(株)、2.産総研)

キーワード：Liイオン電池、湿度、ppm

Liイオン電池等のハイテク製品製造分野で必要とされる、低湿度領域での高精度・高応答の湿度計測実現のため、波長可変半導体レーザー分光法(Tunable Diode Laser Absorption Spectroscopy, TDLAS)を用いた計測器(TDLAS露点計)の開発を行っている。TDLAS露点計は原理上、レーザー光路上に存在する全ての水分を測定してしまうため、低湿度領域では大気中妨害水分の影響が深刻となる。この課題の対応策について報告する。