[11p-M116-1~15] 1.5 計測技術・計測標準

[11p-M116-6] 質量測定式液中粒子計数装置を用いた液中粒子数濃度一次標準の開発

〇坂口 孝幸¹、車 裕輝¹、桜井 博¹ (1.産総研計量標準)

キーワード：粒子数濃度、不確かさ、国家標準

国立研究開発法人産業技術総合研究所では、液中粒子数濃度の一次標準を開発し、校正業務を実施してきた。校正対象粒子数濃度範囲は 5×10² 個/g から 2×10⁶ 個/g である。校正対象粒子中心粒径範囲をこれまで供給してきた 2 µm - 20 µm から新たに 600 nm - 20 µm へ拡張し、さらに、校正の不確かさを減少させた一次標準を開発したので報告する。濃度C_0の校正・測定能力は、U=0.0148C₀であった。不確かさの主要部分は、凝集粒子の識別による不確かさおよび小粒径計数においては計数打ち切りによる不確かさであった。