[11p-M136-1~14] 13.3 絶縁膜技術

[11p-M136-6] Si/SiO₂界面解析に向けたニューラルネットワークポテンシャルの応用

〇又賀 誠¹、名倉 拓哉¹、洗平 昌晃^1,2、白石 賢二^1,2 (1.名大院工、2.名大未来研)

キーワード：界面

近年、非常に高い自由度を有するニューラルネットワークを用いて原子間の相互作用をモデリングする手法が注目されており、Si/SiO₂界面のニューラルネットワークポテンシャルの精度における問題点や改善点について講演する予定である。