[11p-PA2-1~10] 1.3 新技術・複合新領域

[11p-PA2-4] PDMS-QCMチップとの集積を想定した磁性流体シール型電磁駆動ポンプの開発

〇押田 直也¹、増本 憲泰¹、加藤 史仁¹、張 暁友¹ (1.日工大)

キーワード：電磁駆動、磁性流体シール、小型ポンプ