[11p-PA2-1~10] 1.3 Novel technologies and interdisciplinary engineering

△ [11p-PA2-6] Precise tuning of mold nanostructure for fabrication of photonic/plasmonic devices

〇Kenichi Maeno¹, Hirotaka Yamada¹, Tomoya Shimizu¹, Daiki Kawasaki¹, Kenji Sueyoshi¹, Hideaki Hisamoto¹, Tatsuro Endo^1,2 (1.Osaka Pref. Univ., 2.JST PRESTO)

Keywords:nanoimprint, photonic crystal, plasmonic devices

ナノインプリントリソグラフィー等のモールドを利用したナノ構造作製技術は、ナノ構造の簡便かつ安価な作製を可能とする。しかし従来のモールド作製法では、ナノ構造制御のために煩雑な作製条件最適化が必要であり、デバイス構造の変更が困難であった。そこで我々は、数 nm の厚み精度でポリマー薄膜を交互に堆積させるLayer-by-Layer(LbL)法を利用したモールド形状制御手法を提案する。これにより、ナノデバイスの構造や光学特性の容易な制御が期待される。