2019年第66回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(ポスター講演)

15 結晶工学 » 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

[11p-PA5-1~3] 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

2019年3月11日(月) 13:30 〜 15:30 PA5 (屋内運動場)

13:30 〜 15:30

[11p-PA5-3] 極薄AlN中間層を用いたエピタキシャルグラフェン上Siエピタキシャル成長

寺井 汰至1、石丸 大樹、鎌田 裕太1、竹内 智哉1、橋本 明弘1 (1.福井大院工)

キーワード:AlN