2019年第66回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(ポスター講演)

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[11p-PA6-1~7] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

2019年3月11日(月) 13:30 〜 15:30 PA6 (屋内運動場)

13:30 〜 15:30

△ [11p-PA6-1] Siウェーハ表面近傍における金属原子の安定性と拡散障壁に関する第一原理解析

〇(M1)野々田 典敬1、末岡 浩治2 (1.岡山県大院情報系工、2.岡山県大情報工)

キーワード：Siウェーハ、金属、第一原理解析