[11p-PA6-1~7] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

△ [11p-PA6-2] パワーデバイス用 Si 結晶中のライフタイム制御欠陥に与える炭素・酸素不純物の影響

〇(M1)土屋 大輝¹、末岡 浩治¹、山本 秀和² (1.岡県大、2.千葉工大)

キーワード：原子空孔対 (V-V)、格子間炭素-格子間酸素対 (Ci-Oi)、格子間炭素-置換炭素対 (Ci-Cs)

本研究では，V-V，V-PとC_i，O_i，C_i-O_i，C_i-C_s の相互作用による構造変化の過程に注目した第一原理計算を行った．Si 64原子モデルの各原子配置における不純物間の結合エネルギーを計算することで，安定な複合体構造を探索することを目的とした．