[11p-PA6-1~7] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

△ [11p-PA6-6] Cz法育成Tb₃Ga₅O₁₂の転位

〇渡邉 美紀¹、牛沢 次三郎¹、林 武志¹、安斎 裕¹ (1.株式会社オキサイド)

キーワード：TGG、ガーネット

Tb系のガーネット単結晶であるTb₃Ga₅O₁₂(TGG) は大きなヴェルデ定数・低光損失・高熱伝導などの特性を持つ。一方チョクラルスキー(Cz)法を用いて育成した単結晶内には、コアや気泡などの既知の欠陥に加えて、結晶内部に放射状のスジが見えることがある。このスジを偏光顕微鏡やエッチング法によって観察した結果、巨大なヘリカル転位であると推察している。本研究では、転位がみられた結晶肩部を詳しく分析し、発生場所とその原因について調べた。