[11p-PA7-1~35] 1.2 教育

[11p-PA7-32] 半導体製造装置やフッ酸を使用しないシリコン太陽電池の製作

〇安森 偉郎¹、岡田 工²、崔 一煐³ (1.東海大教開研セ、2.東海大現代教養セ、3.東海大高輪教養教育セ)

キーワード：シリコン、太陽電池、教育

半導体デバイス製作実習では，フッ酸などを用いるため薬品処理用のドラフトチャンバや半導体製造装置が必要となります。このため，これらの設備が完備された状態でないとデバイスの製作実習が行えないという現状がある。本研究では半導体製造装置をほとんど備えていなくても，通常の実験室のような場所において半導体デバイスの製作実習を実施する方法について研究してきた．その結果，半導体製造装置やHF酸水溶液などを使わずに，装置としては熱処理や陶芸などで使用するマッフル炉を用いて，ソーラーモータを駆動させることのできる実験実習用Si太陽電池の製作方法の開発に成功した．