[11p-PB1-1~40] 3.12 Nanoscale optical science and near-field optics

[11p-PB1-4] Evaluation of electrode film thickness dependence of photocurrent in Schottky photodiode with surface plasmon filter

〇Toshinori Eko¹, Takanori Hagiwara¹, Atsushi Utsumi¹ (1.NIT, Maizuru College)

Keywords:Schottky diode, Photodiode, Plasmon

ショットキーフォトダイオードに表面プラズモンフィルタを付加することで，表面プラズモン共鳴の電場増強効果による受光感度の向上が期待される．今回は，表面プラズモンフィルタを付加したショットキーダイオードにおいて，受光面のショットキー電極の膜厚を変化させることで，電場増強効果が向上するか否かを調べた．​LED光を照射すると，電極膜厚が薄くなっていくにつれて光電流の増加が確認できた．