[11p-PB1-1~40] 3.12 ナノ領域光科学･近接場光学

[11p-PB1-4] 表面プラズモンフィルタを付加したショットキーフォトダイオードにおける光電流の電極膜厚依存性

〇江湖 俊仁¹、萩原 隆仁¹、内海 淳志¹ (1.舞鶴工業高等専門学校)

キーワード：ショットキーダイオード、フォトダイオード、プラズモン

ショットキーフォトダイオードに表面プラズモンフィルタを付加することで，表面プラズモン共鳴の電場増強効果による受光感度の向上が期待される．今回は，表面プラズモンフィルタを付加したショットキーダイオードにおいて，受光面のショットキー電極の膜厚を変化させることで，電場増強効果が向上するか否かを調べた．​LED光を照射すると，電極膜厚が薄くなっていくにつれて光電流の増加が確認できた．