[11p-PB2-1~9] 3.14 光制御デバイス・光ファイバー

[11p-PB2-4] Ge₂Sb₂Te₅の屈折率に対するSe添加の影響

〇坂本 健太¹、桑原 正史²、遠藤 理恵³、津田 裕之¹ (1.慶大、2.産総研、3.東工大)

キーワード：相変化材料、屈折率

相変化材料を用いた相変化光スイッチのさらなる性能向上には光吸収の少ない相変化材料が必要となる。本研究では消衰係数を小さくすることを目的としてGe₂Sb₂Te₅にSeを添加し、その屈折率を測定した。石英管中で真空溶解することでSeを添加した。加熱蒸着により成膜し、加熱処理なしと加熱処理ありの薄膜の複素屈折率を分光エリプソメトリにより算出した。