[11p-PB2-1~9] 3.14 光制御デバイス・光ファイバー

[11p-PB2-6] 二重テーパー化コアとテーパー化クラッドを有するファイバープローブの作製

〇物部 秀二¹、狩野 知哉¹、小平 典¹ (1.東洋大理工)

キーワード：光ファイバー、エッチング、近接場光学

近接場光学ファイバープローブのアスペクト比を向上させるため，テーパー化されたクラッドと二重テーパー化されたコアを有する光ファイバープローブの作製法を提案する．この方法は４工程（１）クラッドのテーパー化，（２）テーパー終端部の中空化，（３）中空構造の平坦化と第一テーパーの形成，（４）第二テーパーの形成からなる．作製されたプローブのテーパー化クラッド終端部の直径は４．５μｍであり，アスペクト比は０．７である．断面直径２０μｍ以上の円筒状クラッド端の中心に二重テーパー化コアが形成された従来の二重テーパー化プローブに比べて，アスペクト比が向上したことがわかる．