[11p-S011-1~18] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

△ [11p-S011-11] 岩塩構造MgZnO/MgO量子井戸における量子閉じ込め効果

〇工藤 幹太¹、石井 恭平²、小野 瑞生¹、藤原 有基¹、金子 健太郎²、山口 智広¹、本田 徹¹、藤田 静雄²、尾沼 猛儀¹ (1.工学院大、2.京大)

キーワード：MgZnO、真空紫外線、量子井戸構造

岩塩構造酸化マグネシウム亜鉛（RS-Mg_xZn_1-xO）はワイドギャップ半導体の一つとして、VUV領域の発光材料としての応用が期待される。本研究では、ミストCVD法によって製作されたRS-Mg_xZn_1-xO/MgO量子井戸（QW）構造における量子閉じ込め効果を、光学的測定から明らかにすることを目的とし実験を行った。結果として薄膜に対してQW構造のサンプルで量子効果を観測し、計算値とほぼ同様な傾向を示した。