[11p-S223-1~16] 13.8 光物性・発光デバイス

[11p-S223-7] Er³⁺発光デバイスに向けてのBi₂O₃ホスト薄膜の可能性

〇赤沢 方省¹ (1.NTTデバイスイノベーションセンタ)

キーワード：Bi2O3、Er3+、フォトルミネッセンス

光ファイバアンプど同様な機能を光導波路において実現することは、光回路をベースとするフォトニクスにおいて大きな進展をもたらす。Er³⁺を高濃度置換できて、赤外域において透明な材料として、Bi₂O₃に着目した。Bi₂O₃ホストのスパッタ成膜について、良好な膜質が得られるパラメータ条件を確定し、ドープしたEr³⁺からの発光を確認した。