[11p-S421-1~19] 3.9 テラヘルツ全般

[11p-S421-14] テラヘルツ領域におけるシリコンナノ粒子を用いた屈折率制御と広帯域反射防止膜への応用

〇添田 淳史¹、河田 陽一²、里園 浩²、高橋 宏典²、池田 吉紀¹ (1.帝人、2.浜松ホトニクス)

キーワード：テラヘルツ波、反射防止膜

テラヘルツ光学素子におけるSi基材-空気界面での反射防止技術として，Siナノ粒子を利用した樹脂の屈折率制御及び反射防止膜の開発を行った．Siナノ粒子はテラヘルツ領域で高い透過性能を示し，屈折率制御材料としての有用性が示された．Si基板上に形成したSiナノ粒子と樹脂による複合膜で設計した2層型反射防止膜は，90 %以上の振幅透過率を有する帯域幅が1.5 THzと優れた広帯域反射防止性能を示した．