[11p-W241-1~7] 計算機による物性予測と酸化物機能の開拓

[11p-W241-7] マテリアルズインフォマティクスに基づく物質合成

〇後藤 真宏¹ (1.物材機構)

キーワード：マテリアルズインフォマティクス、コンビナトリアル、スパッタリング

我々は、コンビナトリアル技術による効率的な材料探索だけではなく、高度なプロセス制御に優れているコンビナトリアルスパッタコーティングシステム（COSCOS）を独自に開発してきた。最近、このCOSCOSとMIによる材料特性予測を融合した効率的な材料開発基盤を新たに構築し、エネルギー関連材料の開発に取り組んでいる。そこで、幾つかある材料開発例の中から低熱伝導率を有する薄膜無機材料開発を例にして研究開発内容をご紹介する。