[11p-W242-1~6] エネルギーハーベスティングの新展開

[11p-W242-4] ナノインプリントによるシリコン薄膜熱電ハーベスタの作製と性能評価

〇柳澤 亮人¹、Ruther Patrick²、Paul Oliver²、野村 政宏^1,3 (1.東大生研、2.フライブルク大、3.JST さきがけ)

キーワード：熱電変換、シリコン、フォノンエンジニアリング

シリコン薄膜にナノ構造を導入した熱電変換材料を用いて熱電変換エナジーハーベスタを作製・評価した。ナノ構造によってフォノン伝搬を制御し熱電変換性能が向上されるが、ナノ構造の作製にナノインプリントリソグラフィを用いることで大面積・高出力のモジュールを開発している。