[11p-W242-1~6] エネルギーハーベスティングの新展開

[11p-W242-6] 2自由度構造を有する圧電MEMS振動発電素子の電気機械特性

〇(D)荒牧 正明¹、吉村 武¹、村上 修一²、佐藤 和郎²、神田 健介³、藤村 紀文¹ (1.大阪府大工、2.大阪技術研、3.兵庫県立大)

キーワード：MEMS、PZT、振動発電

圧電MEMS振動発電素子は搭載している錘が小さいことから、理論限界に相当する発電性能を有するMEMS素子でも低印加加速度時の発電量は小さい。低加速度領域における圧電MEMS振動発電素子の高出力化に向け、MEMS素子とAl板を用いた2自由度構造を作製した。印加加速度0.01Gにおける最大出力電力は88nWとなり、1自由度系におけるMEMS素子の20倍以上の出力電力が得られた。