[11p-W323-1~15] 8.5 プラズマ現象・新応用・融合分野

[11p-W323-15] 第三電極を有するエレクトロスプレー堆積装置の特性評価

〇(B)桑畑 湧太¹、橋本 光平¹、竹原 宏明^1,2、一木 隆範^1,2 (1.東大工、2.ナノ医療イノベーションセンター)

キーワード：エレクトロスプレー、薄膜